在半導(dǎo)體制造行業(yè)，高純化學(xué)品的輸送系統(tǒng)正面臨前所未有的嚴(yán)苛要求。特別是在蝕刻（Etching）和清洗（Cleaning）工藝中，所使用的高純度電子級酸液對泵體材料的純凈度、耐腐蝕性和密封性提出了極高挑戰(zhàn)。

  為滿足半導(dǎo)體客戶對“高潔凈度、零泄漏、高耐腐蝕性”的需求，安徽氟特化工泵業(yè)有限公司推出的PFA材質(zhì)襯氟磁力泵，成為電子化學(xué)品輸送領(lǐng)域的優(yōu)選解決方案。

  ?? 高純電子酸：半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料

  高純電子酸主要用于晶圓蝕刻、清洗和鈍化等步驟，其純度要求可達(dá)ppb（十億分之一）級別，廣泛使用的酸液包括：

• 高純氫氟酸（HF）：用于硅氧化層蝕刻

• 高純硝酸（HNO?）：清除金屬雜質(zhì)，輔助氧化

• 高純硫酸（H?SO?）：配合過氧化氫進(jìn)行有機(jī)物清洗

• 高純鹽酸（HCl）：去除金屬離子雜質(zhì)

• 高純磷酸（H?PO?）：濕法蝕刻氮化物層

• 混酸體系（如RCA清洗液）：用于多步清洗過程

  這些酸液不僅腐蝕性極強(qiáng)，還對材料析出物控制提出極高要求，傳統(tǒng)金屬泵、PVC/PP泵難以勝任。

  氟特泵業(yè)：PFA襯氟磁力泵——專為高純酸液而生

  為保障高純電子酸在輸送過程中的化學(xué)穩(wěn)定性與潔凈度，氟特化工泵業(yè)研發(fā)的PFA襯氟磁力泵采用了進(jìn)口高純PFA材質(zhì)，具備以下核心優(yōu)勢：

  ? 高純材質(zhì)，避免離子污染

• 全內(nèi)襯材質(zhì)為高純PFA，金屬離子析出極低，適用于超純化學(xué)品輸送

• 表面光滑無死角，極大降低顆粒吸附與殘留，滿足Class 100級潔凈室使用要求

  ? 無泄漏磁力驅(qū)動結(jié)構(gòu)

• 采用無軸封磁力驅(qū)動設(shè)計，徹底解決酸液泄漏問題

• 特別適用于易揮發(fā)、強(qiáng)腐蝕性、對安全性要求高的電子化學(xué)品

  ? 卓越的化學(xué)兼容性

• 對HF、HNO?、H?SO?、HCl、H?PO?等電子級酸液有優(yōu)異耐腐蝕性

• 可在80℃以上長期穩(wěn)定運行，適用于高溫工藝段

  ? 精密制造，保障系統(tǒng)穩(wěn)定性

• 采用CNC精密加工技術(shù)，嚴(yán)格控制產(chǎn)品一致性

• 支持定制接口、流量控制等集成方案，便于與晶圓濕法設(shè)備、槽體系統(tǒng)匹配

  ?? 典型應(yīng)用場景

• 晶圓清洗設(shè)備（Wet Bench）

• 蝕刻液輸送系統(tǒng)

• 高純化學(xué)品投加系統(tǒng)

• 酸堿儲罐卸料/循環(huán)輸送

• CMP拋光液/稀釋液計量系統(tǒng)

  ?? 為什么選擇氟特？

  作為深耕腐蝕性液體輸送領(lǐng)域多年的專業(yè)制造商，安徽氟特化工泵業(yè)有限公司在材料選型、結(jié)構(gòu)設(shè)計、應(yīng)用定制方面具備成熟經(jīng)驗，已為眾多半導(dǎo)體、面板、光伏、新能源企業(yè)提供可靠輸送方案。

  我們承諾為客戶提供：

• 持久耐腐蝕的PFA材質(zhì)泵體

• 可靠的無泄漏磁力傳動系統(tǒng)

• 快速響應(yīng)的技術(shù)支持與定制服務(wù)